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作者:帝王棋牌    发布时间:2020-08-07 03:03


  本发明公开了全自动LED硅片清洗设备,其技术方案要点是:包括机体,所述机体上设有清洗区,所述清洗区包括酸液槽,还设有控制酸液槽上方开口打开和闭合的开合机构。本发明的优点是在清洗过程中减少酸液或碱液挥发对工作环境的影响。

  一种无篮式硅片清洗机械手,属于硅片清洗设备领域。包括用于驱动手抓侧臂相对转动的夹紧驱动部,手抓侧臂铰接在纵向移动架上,手抓侧臂底部设有固定件,固定件上开有若干用于卡住硅片的固定槽。本方案通过石英制成的固定件来夹紧固定硅片,使得硅片在清洗过...

  本实用新型公开了一种硅片承载篮翻转装置,包括机架,所述机架上水平固定一导向齿条,所述导向齿条上设置有两个机械手,两个所述机械手之间设置有一翻转机构,所述翻转...

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  本发明公开了一种全自动硅片清洗机,其技术方案要点是:包括架体,架体内清洗层,清洗层内设有固定架,固定架内设有若干个清洗槽,清洗槽内设有摆放硅片的承接架,固定架上设有带动承接架摆动的驱动机构。本发明的优点是可以让硅片与清洗液充分接触碰撞摩擦,提...

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全自动硅片清洗机




 
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